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求助51175507
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鐵桿木蟲 (正式寫手)
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三軸一體化磁力線聚集調(diào)制GMR磁傳感器關(guān)鍵技術(shù)研究 負(fù)責(zé)人:潘孟春 參與人:潘孟春, 陳棣湘, 羅詩途, 田武剛, 張琦, 李季, 胡佳飛, 謝瑞芳, 龐鴻鋒 金額:62萬 申請時間:2011 學(xué)科代碼:微/納機械傳感與控制(E051202) 項目批準(zhǔn)號:51175507 申請單位:中國人民解放軍國防科學(xué)技術(shù)大學(xué) 摘要:高性能三軸磁傳感器在武器裝備、航空航天、資源探測等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景和迫切需求。GMR是研制小型化、高分辨力三軸磁傳感器的理想元件,但應(yīng)用中首先必須解決其1/f噪聲問題,磁力線聚集調(diào)制是當(dāng)前國外解決GMR應(yīng)用問題的研究熱點。針對現(xiàn)有GMR磁力線聚集調(diào)制技術(shù)中存在的調(diào)制深度不足、驅(qū)動結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性較差以及組裝式三軸磁傳感器正交誤差大等問題,本項目提出磁力線聚集垂動調(diào)制的新思路和磁變軌實現(xiàn)空間磁場平面化測量的新方法。主要研究:1)聚集調(diào)制技術(shù)中磁導(dǎo)向結(jié)構(gòu)對磁力線形態(tài)的影響機制;2)空間磁場測量平面化與磁力線聚集調(diào)制一體化;3)一體化MEMS微硅驅(qū)動結(jié)構(gòu)的線性和非線性動力學(xué)特性;4)基于聚集調(diào)制的三軸一體化GMR磁傳感器制造工藝。本項目的研究成果將為研制高性能三軸GMR磁傳感器奠定理論和技術(shù)基礎(chǔ)。 |
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