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dizzy1011新蟲(chóng) (初入文壇)
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[交流]
求助 硅片表面圖案化處理后，氯苯等有機(jī)溶劑還是無(wú)法圖案化。 已有1人參與
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具體的情況是這樣的。 最近我一直在做關(guān)于SAM的工藝。 就是用硅烷偶聯(lián)劑處理硅片的表面，讓硅片表面形成圖案化的烷基鏈區(qū)域 然后在硅片表面靜置有機(jī)溶劑，讓它們停留在沒(méi)有被烷基化的區(qū)域。 但是我做了一個(gè)多月了還是沒(méi)有做好。 具體的操作是這樣的。 先把硅片羥基化，然后再用ODTS浸泡，然后在用有圖案的mask蓋上在UV OZONE下清洗。 理論上講，uv ozone照射的地方是親水的，烷基化的地方時(shí)疏水的。 有機(jī)溶劑（氯苯 二氯苯 甲苯 二甲苯等）應(yīng)該停留在親水的地方 而不是停留在烷基化的地方。這樣就達(dá)到了圖案化的效果。 但是我的氯苯還是可以在烷基化的區(qū)域停留，并且接觸角只有10°左右，完全達(dá)不到預(yù)期的效果。 但是我把溶劑換成水，就可以圖案化了。 這是為什么？有沒(méi)有人跟我做同樣的實(shí)驗(yàn)，希望大家交流一下。 我的郵箱 dizzy1011@163.com QQ：571500159 |
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2樓2011-09-28 13:48:29
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