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學(xué)海無涯t鐵蟲 (初入文壇)
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[求助]
求助：文獻(xiàn)中光刻膠線條的截面SEM圖（cross-sectional SEM）那種截面是怎么得到的
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如下圖，為光刻膠線條的截面SEM圖，但是由于我做的光刻膠線條尺寸很小，很難用手工的方法在硅片上的光刻膠線條上準(zhǔn)確地切開截面，即使切開，其邊緣也是粗糙難看，很難達(dá)到下圖的效果，請(qǐng)問大家是怎么做的？不甚感激 [ Last edited by 學(xué)海無涯t on 2011-10-14 at 10:06 ] |
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5樓2011-10-14 22:24:15
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7樓2011-10-15 00:18:28
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8樓2011-10-15 07:45:06
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本帖內(nèi)容被屏蔽 |
9樓2011-12-13 17:18:44
| 實(shí)在想看的話用FIB，不過很貴。或者設(shè)計(jì)的時(shí)候?qū)ｉT做一組比較長(zhǎng)的線用來觀察 |
» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）
學(xué)海無涯t10樓2011-12-13 17:53:23
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