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學(xué)海無涯t鐵蟲 (初入文壇)
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[求助]
求助：文獻中光刻膠線條的截面SEM圖（cross-sectional SEM）那種截面是怎么得到的
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如下圖，為光刻膠線條的截面SEM圖，但是由于我做的光刻膠線條尺寸很小，很難用手工的方法在硅片上的光刻膠線條上準確地切開截面，即使切開，其邊緣也是粗糙難看，很難達到下圖的效果，請問大家是怎么做的？不甚感激 [ Last edited by 學(xué)海無涯t on 2011-10-14 at 10:06 ] |
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