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[求助]
干法 氧化 硅
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材料的干法氧化（Dry Oxidation）到底是如何操作的？ 是直接在空氣中加熱到高溫還是需要放進(jìn)真空退火爐通入純O2進(jìn)行的？ 如果我想在硅片表面得到一層均勻的幾十nm厚的氧化層，應(yīng)該如何操作？假如在真空退火爐中進(jìn)行氧化，氧氣壓、溫度分別應(yīng)該如何選擇？  |
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