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火鳳凰8768銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
求助50801062摘要
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鐵桿木蟲 (正式寫手)
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高質(zhì)量超硬納米多層薄膜的制備及其超硬效應研究 負責人:趙彥輝 參與人:趙彥輝, 肖金泉, 王鐵鋼, 郎文昌, 高俊華, 崔連武, 劉志敏 金額:19萬 申請時間:2008 學科代碼:金屬材料表面改性及涂層(E011002) 項目批準號:50801062 申請單位:中國科學院金屬研究所 研究類型:應用基礎(chǔ)研究 摘要:目前硬質(zhì)納米多層薄膜的超硬效應模型均建立在界面層厚度盡量小的基礎(chǔ)上,而電弧離子鍍可制備在界面層厚度較大時出現(xiàn)超硬效應的納米多層薄膜,但其超硬效應尚未進行深入研究,限制了對超硬機制的理解、多層薄膜制備及其工業(yè)應用。本研究采用電弧離子鍍技術(shù),在利用納米多層復合提高薄膜的硬度和韌性、脈沖偏壓有效改善膜基結(jié)合力以及機械擋板過濾有效去除薄膜表面大顆粒缺陷的基礎(chǔ)上,開展高質(zhì)量Ti/TiN、TiN/TiAlN超硬納米多層薄膜的制備及其超硬效應的研究,包括脈沖偏壓參數(shù)及機械擋板參數(shù)對TiN薄膜表面大顆粒的凈化規(guī)律;多層調(diào)制周期對多層薄膜成分及微觀組織形態(tài)特征的影響規(guī)律;超硬納米多層薄膜的硬度增強機制研究等內(nèi)容,制備出高質(zhì)量超硬納米多層薄膜,拓寬出現(xiàn)超硬效應的調(diào)制周期范圍,揭示具有擴散界面層的超硬納米多層薄膜的硬度增強機制,為發(fā)展制備高質(zhì)量超硬納米多層薄膜的先進鍍膜技術(shù)提供必要的技術(shù)理論儲備。 |
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