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281334055木蟲 (正式寫手)
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[求助]
去除柵上面的鎢保護(hù)層 求方法
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我們是做MOS電容實(shí)驗(yàn) 結(jié)構(gòu)為Si/SiO2/HfO2/TiN/W, 最上面的W是保護(hù)層 防止TiN的氧化的 大概是70nm左右 為了做XPS看一下 下面幾層的成分 需要把W去掉 想問下用什么去除的效果好? 導(dǎo)師叫我用H2O2加熱去除 但是表面會(huì)變的很烏, 并且有大斑點(diǎn) 效果很差 影響后面的實(shí)驗(yàn) 所以求助一下 |
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kelpie8086
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2樓2011-11-04 18:36:39
281334055
木蟲 (正式寫手)
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3樓2011-11-04 20:27:44
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4樓2012-01-06 16:18:55
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