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shenzhenju銅蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
怎樣去掉硅表面的氧化層？
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想去除硅表面的氧化層，除了HF酸之外還有其他辦法嗎？可以用鹽酸代替嗎？感覺(jué)HF酸對(duì)人體傷害很大啊。。。 |
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bill_shark
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2樓2011-12-06 13:37:52
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yorkhu
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shenzhenju(金幣+1): 2011-12-10 20:45:52
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http://www.mindspring.com/~zipf- ... etch/EtchTable2.pdf 從上表上看，好像也就ＨＦ比較好用了，雖說(shuō)RIE and Ion milling 的物理方法也可以。Pad Etch 4 也行的。 我是用過(guò)ＨＦ的，帶雙層手套和面罩，小心一點(diǎn)就沒(méi)事的 |
4樓2011-12-07 02:37:07
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