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jack4a507木蟲 (小有名氣)
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[求助]
請問誰用過沈陽司樂公司的勻膠機(jī)（旋涂儀） 已有1人參與
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| 請問各位蟲子有誰用過沈陽司樂公司的勻膠機(jī)，效果如何？ |
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金光閃閃2010: 討論版。純表拿BB你也好意思，總得幫別人解決一個(gè)問題吧，呵呵 2011-12-11 18:00:03
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2樓2011-12-08 20:18:17
suding
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3樓2011-12-26 10:19:20
suding
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4樓2011-12-27 15:47:27
gongyong1214 
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5樓2014-04-01 15:23:14
victoryn
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【答案】應(yīng)助回帖
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如果只是做實(shí)驗(yàn)，供學(xué)生學(xué)習(xí)光刻膠涂布工藝步驟和方法，幾千塊的簡易勻膠臺就夠用了。如果還有一些要求，比如膠膜厚度和膠膜均勻性，包括片間均勻性和批次間均勻性，還是有點(diǎn)講究的。小的勻膠臺電機(jī)性能差，調(diào)速升降過程不平穩(wěn)，震動較大，涂布過程需要手動完成等，所以設(shè)備穩(wěn)定性差和工藝一致性差是絕對的。 通常光刻膠涂布都要在一個(gè)密閉的腔體里面進(jìn)行，飽和氣壓能防止光刻膠過快的將溶劑揮發(fā)，可以保證較好的涂布效果。而排風(fēng)的大小能夠影響到膠旋轉(zhuǎn)時(shí)的表面的氣壓，排風(fēng)大則氣壓就大，膠就薄，反之已然。這就引出一個(gè)排風(fēng)的問題，排風(fēng)一般分為抽和吸，抽為Exhaust，吸為Wind velocity。 Exhaust對Resist平均厚度幾乎沒有影響，對Range影響很大，主要影響的晶邊部分，Exhaust越大，光刻膠在圓片邊越容易干，會堆起來，就會邊緣過厚。所以當(dāng)需要真正的生產(chǎn)時(shí)，盡可能選用有經(jīng)驗(yàn)的光刻膠涂布機(jī)廠商。 ——————— 西安矽美微電子設(shè)備有限公司由幾位微電子芯片設(shè)備業(yè)界從業(yè)經(jīng)驗(yàn)豐富的人士發(fā)起創(chuàng)立，公司專注于微電子芯片設(shè)備的設(shè)計(jì)、制造和銷售。自2011年成立以來，已先后為真明麗銀雨、樓氏蘇州、亞威朗光電、西安中為光電、蘇州納米所等知名企業(yè)設(shè)計(jì)制造生產(chǎn)設(shè)備。主要產(chǎn)品有清洗機(jī)、光刻膠涂布顯影機(jī)和熱臺、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)、金剛刀劃片機(jī)、晶圓貼膜機(jī)、晶圓切割機(jī)等。 Website：http:www.semiway.com.cn |
6樓2015-12-03 16:02:45
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