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yu16142003金蟲 (小有名氣)
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[求助]
求助關(guān)于抽HF 氣體的真空泵選型
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我們目前購買了爪式真空泵（極限真空50pa）、雙級(jí)旋片式真空泵（極限真空0.06pa），目前使用腐蝕都比較嚴(yán)重，真空度下降很快，經(jīng)常需要維修和換新泵，經(jīng)咨詢國內(nèi)一些真空泵廠家，比如南光機(jī)器、杭州拓達(dá)等，都表示很難做用于HF的真空泵，我們以后可能會(huì)用到腐蝕性更強(qiáng)的氣體，因此特向高手請(qǐng)教如下問題： 1、國內(nèi)、國外真空泵廠家有沒有適合HF用的泵？有的話可以推薦，也可以合作。 2、能否改進(jìn)進(jìn)氣管道裝置，我們?cè)谶M(jìn)氣口前加了氧化鋁等吸附劑，但效果不明顯。 非常謝謝�。�！ |
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afmin
鐵桿木蟲 (小有名氣)
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2樓2011-12-09 10:15:13
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