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camelluxin金蟲 (正式寫手)
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[求助]
怎樣能只etch SiO2而不etch Ti
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wet etch 只想把二氧化硅etch了，而保留Ti 目前查到的用HF的話，不管什么濃度的，Ti的etch速度都高于SiO2的 我的Ti本來就沒SiO2厚啊  |
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celen
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2樓2011-12-11 21:33:55
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3樓2011-12-11 22:43:28
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6樓2011-12-12 20:27:28
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
lchpy(金幣+1): thanks for your information 2011-12-13 18:22:13
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
lchpy(金幣+1): thanks for your information 2011-12-13 18:22:13
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建議看看趙東元剛發(fā)的一篇JACS Hydrothermal Etching Assisted Crystallization: A Facile Route to Functional Yolk-Shell Titanate Microspheres with Ultrathin Nanosheets-Assembled Double Shells 這個里面有講到 |
7樓2011-12-13 15:30:40
8樓2011-12-25 23:51:47
xiejf
專家顧問 (文學(xué)泰斗)
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9樓2011-12-26 08:20:39
10樓2011-12-30 10:56:16
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