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zjg-hsd銀蟲 (正式寫手)
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[求助]
請(qǐng)問非晶硅在600攝氏度退火后變成多晶硅---非晶層體積怎么變化？
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我想請(qǐng)問一下： 非晶硅層在600攝氏度退火1h 后，變成了 多晶硅。我想問一下非晶硅層變成多晶硅后體積怎么變化的? 是變大，變小。還是不變？ 謝謝指教！ |
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qfw_68
版主 (文壇精英)
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【答案】應(yīng)助回帖
zjg-hsd(金幣+2, 博學(xué)EPI+1): ★有幫助 2012-02-28 17:02:53
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非晶硅層變成多晶硅后體積應(yīng)該略微變小。 看非晶硅與單晶硅的密度就知道了： 非晶硅的密度約低于單晶硅（2.33g/cm-3）的3%～10%。 https://blog.163.com/xmx028@126/ ... 460712010528334853/ |
2樓2011-12-20 05:20:37
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