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[求助]
射頻磁控濺射鍍膜都可以通入哪些氣體
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如題，請教磁控濺射鍍膜時除了氬氣和氮氣還可以通入什么氣體濺射或輔助濺射？？？？？非常感謝~~~~ |
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2011210017
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10樓2011-12-26 19:31:34
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