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[求助]
光刻膠PMMA稀釋和烘干
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請問,有沒有專業(yè)的蟲蟲,用過光刻膠PMMA 一般情況下,在實(shí)驗(yàn)室 稀釋PMMA用什么溶劑,稀釋后用什么溫度大約多久能把它烘干。 |

無蟲 (小有名氣)
木蟲 (正式寫手)
| 沒用它做過光刻膠 倒是用來做過涂膜(一兩百微米到幾百微米厚) 應(yīng)該原理差不多 用丙酮溶劑就可以溶解稀釋 然后直接在室溫下兩三個(gè)小時(shí)就干了 也可以用DMF、二甲基亞砜、四氫呋喃之類的 為了加快速度 可以在60到90度之間加熱 攪拌 溶解 干燥的話可以在60度下 由于丙酮揮發(fā)挺快的 為了保證膜比較均勻 所以加熱溫度不要太高 要是在100多度加熱的話 可能會(huì)起很多泡泡 |

銀蟲 (正式寫手)
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