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monserdxw金蟲 (小有名氣)
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[求助]
有誰了解或做過非晶微晶轉(zhuǎn)變點(diǎn)附近的非晶硅材料
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| 做出來的效果咋樣，光敏性什么的有多少啊，條件怎么樣呢？謝謝了！ |
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2樓2012-01-11 08:46:34
monserdxw
金蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 3 (幼兒園)
- 金幣: 807.6
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體光電子器件
3樓2012-01-11 11:19:53
【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
monserdxw(金幣+1): ★★★很有幫助 那你手頭有沒有相關(guān)文獻(xiàn) 或是怎么能較方便的找到這類文獻(xiàn) 比如搜什么關(guān)鍵詞之類的 沒看到過有關(guān)這個的啊 謝謝啊 2012-01-12 11:43:44
monserdxw(金幣+1): ★★★很有幫助 那你手頭有沒有相關(guān)文獻(xiàn) 或是怎么能較方便的找到這類文獻(xiàn) 比如搜什么關(guān)鍵詞之類的 沒看到過有關(guān)這個的啊 謝謝啊 2012-01-12 11:43:44
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你所說的做到什么程度，具體指什么指標(biāo)？譬如說晶化率，沉積速率，光敏性或者其他。 文獻(xiàn)里面所看到的，晶化率可以控制在40-60%，但是產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的時候，沉積速率0.5nm/s左右（VHF plasma），晶化率在40%左右。 |
4樓2012-01-12 09:30:12
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