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jujunping

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[求助] 高溫處理硅片

請(qǐng)教大家一個(gè)問(wèn)題：我想用馬弗爐高溫氧化硅片，沒(méi)有成功，想請(qǐng)教大家是怎么處理，處理溫度時(shí)多少，處理時(shí)間是多少，是否預(yù)處理？

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1樓 2012-01-11 10:02:08

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通氧氣，高溫試一試，六百多度差不多吧。

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2樓2012-01-11 11:59:51

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樓: Originally posted by 紫荊空間 at 2012-01-11 11:59:51:
通氧氣，高溫試一試，六百多度差不多吧。

你試驗(yàn)過(guò)嗎，我已經(jīng)做了好幾次都沒(méi)有成功。

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3樓2012-01-11 22:15:25

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Missile521(金幣+1): 鼓勵(lì)回帖交流~ 2012-01-12 10:56:10

我公司是生產(chǎn)硅片的，600度短時(shí)間（30min）退火經(jīng)常做（因?yàn)殡娮杪恃跏┲鳎?00度以下短時(shí)間退火氧化不明顯，外觀沒(méi)變化。過(guò)700-800度加熱會(huì)氧化，表面有點(diǎn)發(fā)白，1h左右。

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4樓2012-01-12 08:42:48

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樓: Originally posted by olympig at 2012-01-12 08:42:48:
我公司是生產(chǎn)硅片的，600度短時(shí)間（30min）退火經(jīng)常做（因?yàn)殡娮杪恃跏┲鳎?00度以下短時(shí)間退火氧化不明顯，外觀沒(méi)變化。過(guò)700-800度加熱會(huì)氧化，表面有點(diǎn)發(fā)白，1h左右。

氧化之后表面好像是發(fā)藍(lán)呢，而卻我想問(wèn)一下加熱過(guò)程中通氧氣了嗎

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5樓2012-01-12 08:48:09

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5樓: Originally posted by jujunping at 2012-01-12 08:48:09:
氧化之后表面好像是發(fā)藍(lán)呢，而卻我想問(wèn)一下加熱過(guò)程中通氧氣了嗎

我們是生產(chǎn)硅片，所以不通氧氣，樓主可以查查硅片關(guān)于osf實(shí)驗(yàn)和半導(dǎo)體的資料，看到過(guò)通空氣的

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6樓2012-01-12 12:45:46

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3樓: Originally posted by jujunping at 2012-01-11 22:15:25:
你試驗(yàn)過(guò)嗎，我已經(jīng)做了好幾次都沒(méi)有成功。

沒(méi)試驗(yàn)過(guò)呢，我只是感覺(jué)通氧氣，高溫處理會(huì)被氧化吧，具體的不清楚

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7樓2012-01-12 15:23:04

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