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tjcdp
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- 專業(yè): 其他無機非金屬材料
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【答案】應助回帖
zzzjj(金幣+8, 基金HEPI+1): ★★★★★最佳答案 很好，謝謝！ 2012-01-19 10:44:12
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高精度定位平臺環(huán)境微擾動機理與主動補償方法研究 負責人：劉吉柱 參與人：劉吉柱, 王振華, 范立成, 潘明強, 許曉威, 雷焱焱, 王文俊, 錢馳, 朱猛 金額：25萬 申請時間：2011 學科代碼：微/納制造過程檢測與控制(E051203) 項目批準號：51105263 申請單位：蘇州大學 研究類型：應用基礎研究 關鍵詞：定位平臺；高精度；溫度與振動；誤差補償 摘要: 為滿足納米光刻、微電子工程及微系統(tǒng)制造等新興領域?qū)ο嚓P設備高精度定位的要求，本課題從分析溫度和振動的產(chǎn)生入手，研究溫度與振動對高精度定位平臺耦合擾動機理及控制方法。首先建立電機在不同運行狀態(tài)時，高精度定位平臺溫度分布的數(shù)學模型及其熱-結構耦合變形模型，揭示高精度定位平臺熱變形與電機運動參數(shù)的關系。研究熱模態(tài)下高精度定位平臺振動模型，在此基礎上建立高精度定位平臺振動位移與電機電磁力波動的關系模型。為減少溫度和振動耦合引起的高精度定位平臺誤差，提出誤差主動補償機制和控制方法，開展高精度定位平臺在環(huán)境微擾動下的相關實驗研究。本課題的研究成果將為定位平臺實現(xiàn)高精度定位提供理論基礎和方法，對促進我國高精密定位技術等相關領域的研究和發(fā)展具有重要的理論及現(xiàn)實意義。 |
2樓2012-01-19 09:41:51
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