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- 性別: GG
- 專業(yè): 其他無(wú)機(jī)非金屬材料
- 管轄: 無(wú)機(jī)非金屬
【答案】應(yīng)助回帖
zzzjj(金幣+8, 基金HEPI+1): ★★★★★最佳答案 不錯(cuò)，謝謝！ 2012-01-23 12:42:21
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高性能微納米掃描定位系統(tǒng)的建模與控制研究 負(fù)責(zé)人：張承進(jìn) 參與人：張承進(jìn), 顧建軍, 魏守水, 路飛, 孫甲冰, 張桂林, 齊曉妹, 馬軍, 張磊 金額：62萬(wàn) 申請(qǐng)時(shí)間：2011 學(xué)科代碼：線性與非線性系統(tǒng)控制(F030101) 項(xiàng)目批準(zhǔn)號(hào)：61174044 申請(qǐng)單位：山東大學(xué) 研究類型：應(yīng)用基礎(chǔ)研究 關(guān)鍵詞：系統(tǒng)建模；控制器設(shè)計(jì)；壓電驅(qū)動(dòng)器；遲滯非線性特性；振動(dòng)特性 摘要: 原子力顯微鏡（AFM）是微納米顯微成像和微納米操控的主要設(shè)備。由于壓電器件固有的遲滯非線性特性和振動(dòng)特性致使系統(tǒng)帶寬較窄，AFM成像速率不高，無(wú)法獲得生物樣本或者化學(xué)反應(yīng)過(guò)程的全部瞬態(tài)信息，嚴(yán)重限制了AFM的應(yīng)用范圍�；谝陨显颍菊n題擬從系統(tǒng)和控制的角度解決AFM快速成像問(wèn)題：首先在水平方向上，同時(shí)考慮遲滯非線性特性和振動(dòng)特性建立壓電掃描器的動(dòng)態(tài)模型，分別采用自適應(yīng)變結(jié)構(gòu)控制和自適應(yīng)逆控制對(duì)水平方向的光柵掃描進(jìn)行位移控制，以期實(shí)現(xiàn)高速掃描；然后在豎直方向上，采用頻域分析法辨識(shí)壓電定位器的動(dòng)態(tài)模型，結(jié)合AFM微懸臂梁的動(dòng)態(tài)特性，設(shè)計(jì)樣品形貌觀測(cè)器，基于此分別提出前饋反饋綜合控制和主輔控制的兩步驟控制策略，有效地提高AFM定位系統(tǒng)的帶寬和定位精度，同時(shí)減小對(duì)樣品和探針的損傷。本課題的研究將為AFM系統(tǒng)快速準(zhǔn)確成像的實(shí)現(xiàn)提供一種切實(shí)可行的途徑，具有重要的理論意義和廣闊的應(yīng)用前景。 |
2樓2012-01-21 20:40:45
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