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cnxhw木蟲 (小有名氣)
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[求助]
離子注入薄膜后，RTA溫度和時間如何計算？
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比如離子注入Si到15nm的薄膜，7Kev的能量，1e14的劑量，如何確定RTA的退火時間和溫度？？ 多謝指教! |
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cnxhw
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4樓2012-10-18 10:09:01
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