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xixiqs

新蟲(chóng) (初入文壇)

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[求助] 負(fù)膠光刻做倒梯形的程度與曝光時(shí)間有什么關(guān)系？？

是在可以顯影出圖形的情況下，曝光時(shí)間控制短些，形成的倒梯形就越倒？？？
對(duì)嗎？？

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1樓 2012-02-17 14:39:16

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ciompman

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引用回帖:

3樓: Originally posted by xixiqs at 2012-02-20 13:47:34:
負(fù)膠的堅(jiān)膜對(duì)梯形會(huì)產(chǎn)生影響吧？？如果顯影之后不堅(jiān)膜，如何清洗和去除水分呢

顯影之后再堅(jiān)膜應(yīng)該影響不大，甚至好多過(guò)程都需要顯影后堅(jiān)膜！

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4樓2012-02-20 14:25:21

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ciompman

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【答案】應(yīng)助回帖

感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
nuaajsh(金幣+1): 鼓勵(lì)交流 2012-02-25 13:43:20

負(fù)膠光刻是比較不好控制的，各個(gè)所需要控制的量之間總是有各種不太確定的關(guān)系。如果單看能量的話，理論上講，曝光時(shí)間短，膠體下表面就不會(huì)得到完全曝光，容易形成倒梯形。但是實(shí)際上，負(fù)膠光刻除了與曝光量有關(guān)系外，還與光刻膠厚度、圖形尺寸以及顯影時(shí)間等關(guān)系密切。需要各方面考慮才能得到好的結(jié)果。

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2樓2012-02-18 19:31:33

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xixiqs

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樓: Originally posted by ciompman at 2012-02-18 19:31:33:
負(fù)膠光刻是比較不好控制的，各個(gè)所需要控制的量之間總是有各種不太確定的關(guān)系。如果單看能量的話，理論上講，曝光時(shí)間短，膠體下表面就不會(huì)得到完全曝光，容易形成倒梯形。但是實(shí)際上，負(fù)膠光刻除了與曝光量有關(guān)系 ...

負(fù)膠的堅(jiān)膜對(duì)梯形會(huì)產(chǎn)生影響吧？？如果顯影之后不堅(jiān)膜，如何清洗和去除水分呢

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3樓2012-02-20 13:47:34

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樓: Originally posted by ciompman at 2012-02-20 14:25:21:
顯影之后再堅(jiān)膜應(yīng)該影響不大，甚至好多過(guò)程都需要顯影后堅(jiān)膜！

咨詢一家負(fù)膠的生產(chǎn)商說(shuō)堅(jiān)膜對(duì)倒梯形影響很大。。。他們建議省去堅(jiān)膜

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5樓2012-02-20 20:45:18

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