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果果88銀蟲 (初入文壇)
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[求助]
FE-SEM場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡
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| 我想請(qǐng)問下,我做的是20-100微米的微球,想用場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡看微球的橫切面~!請(qǐng)問可以嗎?場(chǎng)發(fā)射的原理是什么呢? |
掃描電鏡的有關(guān)問題 | 實(shí)驗(yàn)操作技巧 |
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沒問題,關(guān)鍵看橫斷面制備效果。鑲嵌后等離子切割,然后剖光;離子束切割;液氮脆斷!只要樓主能把剖面制備好,用掃描電鏡看,而且只能用掃描電鏡才可以看清楚。 這個(gè)尺度的表征用場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡浪費(fèi)!我們的鎢燈絲臺(tái)式掃描電鏡即可!也就是說,一般的鎢燈絲SEM足矣。 場(chǎng)發(fā)射原理:場(chǎng)發(fā)射是肖特基效應(yīng)和隧道電流效應(yīng)的統(tǒng)稱!在實(shí)際操作中根據(jù)電子發(fā)射電極表面電勢(shì)大小,由肖特基效應(yīng)量變成質(zhì)變的隧道電流效應(yīng)。 以上兩種效應(yīng),在場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡中的應(yīng)用,形成的性能有明顯差異,在場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡中形成一個(gè)重要性能梯度。 |
銀蟲 (初入文壇)

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當(dāng)電子束沿一定方向射入樣品內(nèi),入射電子與樣品原子核的核外電子作用產(chǎn)生非彈性散射,使核外電子脫離原子成為二次電子,樣品內(nèi)產(chǎn)生的二次電子還有足夠能量繼續(xù)產(chǎn)生二次電子,在樣品表面≤100埃的層內(nèi)產(chǎn)生的二次電子才有可能從表面逸出,即二次電子平均自由程。 從場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡陰極發(fā)出的電子經(jīng)電壓加速和物鏡縮小,形成很細(xì)的電子束聚焦于樣品表面上,電子束在樣品表面逐點(diǎn)掃描,引起二次電子發(fā)射。二次電子經(jīng)探頭形成二次電子信號(hào),信號(hào)經(jīng)一系列數(shù)據(jù)處理,最終將樣品圖像顯示在顯像管屏幕上。 |
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