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realsun456鐵蟲 (初入文壇)
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[交流]
最近做實(shí)驗(yàn)需要買烘膠機(jī)，求推薦~ 已有3人參與
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| 最近做實(shí)驗(yàn)要用到勻膠機(jī)和烘膠機(jī)，勻膠機(jī)初步?jīng)Q定買微電子所的，請(qǐng)大家推薦一下烘膠機(jī)~還有是否能用實(shí)驗(yàn)室一般的烘箱代替 |
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2樓2012-02-29 21:58:30
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3樓2012-03-01 09:57:45
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4樓2012-03-01 10:12:59
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6樓2012-03-03 11:56:53
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7樓2012-03-04 10:19:14
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熱臺(tái)的工藝優(yōu)勢(shì)： ·效率高。因?yàn)椴捎玫氖墙佑|式烘烤W(wǎng)afer，所以時(shí)間比烘箱縮短了很多。例如典型的軟烘時(shí)間是從用熱臺(tái)的30秒到用烘箱的30分鐘。 ·溫度控制好。熱臺(tái)采用閉環(huán)反饋控制系統(tǒng)和PID調(diào)節(jié)方式，保證了系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)響應(yīng)指標(biāo)。這比對(duì)流烘箱、紅外烘箱、真空烘箱、微波烘箱都要好。 ·無(wú)新問題產(chǎn)生。熱臺(tái)透過Wafer背面熱傳導(dǎo)受熱，從而避免了使用烘箱而產(chǎn)生的光刻膠表面“結(jié)殼”，也就避免了溶劑存留光刻膠中的情況。 ———————— 西安矽美微電子設(shè)備有限公司由幾位微電子芯片設(shè)備業(yè)界從業(yè)經(jīng)驗(yàn)豐富的人士發(fā)起創(chuàng)立，公司專注于微電子芯片設(shè)備的設(shè)計(jì)、制造和銷售。自2011年成立以來，已先后為真明麗銀雨、樓氏蘇州、亞威朗光電、西安中為光電、蘇州納米所等知名企業(yè)設(shè)計(jì)制造生產(chǎn)設(shè)備。主要產(chǎn)品有清洗機(jī)、光刻膠涂布顯影機(jī)和熱臺(tái)、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)、金剛刀劃片機(jī)、晶圓貼膜機(jī)、晶圓切割機(jī)等。 |
8樓2015-12-03 15:52:13
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