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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 測試表征 » 薄膜厚度測試方法精準度
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c.hen411金蟲 (小有名氣)
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[求助]
薄膜厚度測試方法精準度
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| 請問測試薄膜厚度有哪些方法？我之前用過干涉儀側過，也用臺階儀測過，請問這兩種方那個較為精準，我的薄膜厚度大概在200nm-5000nm不等。謝謝各位！ |
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ftfxiaoyu
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10樓2012-03-07 12:43:43
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