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Nano-mse金蟲 (小有名氣)
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[求助]
CVD合成納米線，控制壓強的針閥到底是什么樣子的？ 已有1人參與
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大家好，請問哪位知道CVD管式爐系統(tǒng)中，可以粗略控制壓強的那種針閥到底是什么樣子的呢？能給推薦一個嗎？可以實現(xiàn)從低壓到常壓的那種。 我們實驗室的CVD系統(tǒng)是這樣接的：流量計-管式爐-壓力表-一個貌似是開關(guān)的東西（如圖）-真空泵。我們這種接法是準(zhǔn)確的嗎？但是那個貌似是開關(guān)的東西根本控制不了壓力，一旦打開哪怕一點點，通入氣體后，過一段時間壓力表的顯示就不變了（數(shù)值很低），無法調(diào)到常壓（除非完全關(guān)閉，那樣的話管中的氣體流不出去，過一陣就把封管的套子頂開了，很危險的）。另外，一旦使用高一點的蒸發(fā)溫度，一些材料的蒸發(fā)量很大的話，經(jīng)常會把這個開關(guān)阻塞的（這個開關(guān)通道很小），導(dǎo)致管口的套子被沖開。 請大家指點一下，多謝各位了！ [ Last edited by Nano-mse on 2012-3-6 at 21:07 ] |
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地道牛
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5樓2012-03-07 10:40:00
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