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永遠(yuǎn)愛(ài)家的YY金蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
如何采用俄歇電子進(jìn)行成分深度分析？是否會(huì)破壞試樣？對(duì)試樣有什么特別的要求嗎？
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我的試樣是被氧化了的涂層試樣，想知道氧化層的成分分布。我看到有的文獻(xiàn)中采用的是俄歇電子進(jìn)行測(cè)試的。采用俄歇電子進(jìn)行測(cè)試的時(shí)候，電子是從涂層的表面往下打，還是像做EDS線(xiàn)掃描一樣，需要先制備涂層的截面試樣呢？ 還需要對(duì)試樣進(jìn)行什么特別的處理嗎？這樣的測(cè)試會(huì)不會(huì)對(duì)試樣造成破壞？ 另外，我看文獻(xiàn)中，用俄歇電子測(cè)量的成分深度分析時(shí)，涂層都是納米級(jí)別的。而且刻蝕的時(shí)間很長(zhǎng)，都要一兩百分鐘的�，F(xiàn)在我要看的涂層氧化層的厚度是10微米左右，會(huì)不會(huì)超過(guò)俄歇電子的測(cè)試范圍呀？ 求高人指點(diǎn)~~~~小妹不勝感激！ |
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 表征與測(cè)試分析 | 鐵電材料 |
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4樓2012-03-06 20:47:57
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金蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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永遠(yuǎn)愛(ài)家的YY(金幣+1): ★有幫助 謝謝您！ 2012-03-07 08:47:43
| 試樣表面的氧化和污染會(huì)影響俄歇電子譜的分析，況且俄歇電子只對(duì)輕元素敏感，不知道你這個(gè)氧化層是不是對(duì)最終的俄歇電子譜產(chǎn)生影響�，F(xiàn)在材料檢測(cè)分析主要基本集中在電鏡，用俄歇電子譜儀的比較少吧。 |
2樓2012-03-06 18:30:00
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永遠(yuǎn)愛(ài)家的YY(金幣+1): ★★★很有幫助 謝謝您！ 2012-03-07 08:49:01
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俄歇電子譜可以做深度分析。是通過(guò)Ar離子濺射掉一層氧化物，然后再進(jìn)行俄歇信號(hào)采集，濺射掉氧化物的厚度與濺射時(shí)間有關(guān)。由于俄歇本身的探測(cè)深度很淺，一般是再幾個(gè)納米深左右，所以可以這樣逐層分析。但是氧化膜不能太厚（幾十個(gè)到幾百個(gè)納米為宜，不宜再大），氧化膜太厚的話(huà)，需要濺射的時(shí)間和俄歇信號(hào)采集的次數(shù)越多，費(fèi)用往往比較昂貴。 希望對(duì)你有幫助。 |
3樓2012-03-06 20:25:38
永遠(yuǎn)愛(ài)家的YY
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5樓2012-03-07 08:48:26
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