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求助最小線寬6um，最小間隔2um，用什么工藝比較好？ 已有4人參與
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| 需要做um結(jié)構(gòu)陣列，最小線寬6um，最小間隔2um，一般用什么工藝比較好？光刻還是電子束曝光？都需要掩膜板嗎，掩膜板怎么做？花費怎么樣？求各路大神解答 |
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songsongsong443
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5樓2014-01-26 14:01:18
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