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haha8081鐵桿木蟲 (著名寫手)
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[求助]
硅薄膜XRD及Raman測試深度
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我想請問一下，Cu靶的Kα射線(波長約1.5425Å ，平行光，入射角1°時(shí)，在硅薄膜中的穿透深度。是不是根據(jù)硅薄膜在此波長下的吸收系數(shù)來計(jì)算，那么此吸收系數(shù)是多少，是不是要由橢偏之類的儀器測試得出。聚焦光情況下穿透深度又是多少？Raman光譜儀波長為532nm的激光在硅薄膜中穿透深度又是多少，有資料顯示約120nm左右，不知道是否合適。 不要考慮硅薄膜密度和體硅密度不同之類的細(xì)節(jié)，就按照理想的硅材料來說明。謝謝各位！ |
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