22樓: Originally posted by foxs2 at 2012-04-23 10:56:32:
控制一下蒸鍍的速度，5nm勉強(qiáng)可以成膜，厚度增加到10nm就成膜很好了。磁控濺射金屬一般15nm左右成膜，介質(zhì)層10nm就可以。
趙工 15108299816 zyy44138172@126.com

謝謝
專(zhuān)業(yè)哦

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23樓2012-04-23 15:12:11

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yes_zhu

鐵桿木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)

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5nm左右連續(xù)的金可以；而銀一般不行，連續(xù)的銀一般要20nm；幾埃的連續(xù)膜肯定不是真空鍍膜形式得到的，或許是外延生長(zhǎng)之類(lèi)了。

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24樓2012-04-23 15:36:38

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lsx2121

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小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

5nm 的金膜，用磁控濺射應(yīng)該可以做出。連續(xù)膜估計(jì)也沒(méi)有問(wèn)題。
通常<1nm 很難成膜， 3-5納米金屬膜有的可以成連續(xù)膜，有的不可以。（成連續(xù)膜是否導(dǎo)電，需要確認(rèn)），5-8nm 通常可以成連續(xù)膜。

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25樓2012-07-05 21:53:40

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yaoyao1456樓

2012-03-25 19:37 回復(fù)

zhenxiong(金幣+1): 謝謝參與

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