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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » 直流打火
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xiaoxue_818新蟲 (初入文壇)
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[求助]
直流打火
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| 我在用磁控濺射直流濺射鍍膜的過程中，設(shè)備突然出現(xiàn)打火現(xiàn)象，而且一直持續(xù)，但射頻卻沒這種現(xiàn)象， 此外只通氬氣也沒有這種現(xiàn)象，打開后發(fā)現(xiàn)靶濺穿了，但不知道是不是靶濺穿了的原因？請高手指教 |
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xiaoxue_818
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4樓2012-03-29 09:43:49
xiaofeng-wang
鐵桿木蟲 (著名寫手)
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- 性別: GG
- 專業(yè): 無機非金屬類光電信息與功
2樓2012-03-29 08:05:38
3樓2012-03-29 08:22:16
5樓2012-03-29 10:09:41
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