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0929kong金蟲 (小有名氣)
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[求助]
透射率
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我是在藍寶石襯底上先沉積了一層Ga2O3薄膜,然后又沉積了一層ZnO薄膜,測試紫外透射的時候發(fā)現(xiàn)在250nm-400nm的波長范圍內(nèi)透射率很低,在400nm以后的范圍內(nèi)的透射率比單層的Ga2O3薄膜有所增加,這能滿足TCO的要求嗎,忘各位大俠們給分析一下。 |
金蟲 (小有名氣)

木蟲 (正式寫手)
| 透明是在可見光波段(380nm~780nm)達到85%及以上。你的薄膜的相結(jié)構(gòu)需要XRD測試方知道。根據(jù)圖譜可猜測為三種物質(zhì):Ga2O3,ZnO,ZGO。650度,750度的樣品有ZnO和ZGO,因此400nm以下被吸收。并且400nm以下750度的透過率要高,說明有更多的ZnO轉(zhuǎn)變?yōu)閆GO。650度,750度的樣品內(nèi)可能還有部分Ga2O3沒有消耗完。800度的樣品ZnO全部反應(yīng),薄膜為ZGO+Ga2O3,否則200nm-400nm之間的透過應(yīng)和750度Ga2O3的有區(qū)別。 |
木蟲 (正式寫手)
金蟲 (小有名氣)
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