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磁控濺射的薄膜XRD測試沒有結(jié)晶,退火處理是否可以使其晶化? 已有8人參與
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| 用磁控濺射制備的金屬硼化物薄膜,有700個nm厚,做XRD測試沒有出峰,哪些參數(shù)不對啊? 設(shè)備暫時不能對基底加熱,個人估計沉積溫度對其晶化有很大影響,現(xiàn)在考慮退火處理,是否可以使其晶化?有誰做過這方面的指導(dǎo)下! |
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