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[交流] 金膜微電極保護(hù)與電解液選擇

電極制備：平板電極距離為0.5mm的電解池，電壓控制在40v以內(nèi)。平板電極制備過(guò)程是在載玻片上先蒸鍍20nm Ti膜，然后再蒸鍍1um金膜。具體溶液用的是20%醋酸和0.1M醋酸鈉的混合溶液。
問(wèn)題：在具體實(shí)驗(yàn)操作過(guò)程中發(fā)現(xiàn)有氣體產(chǎn)生，而且金膜很容易從玻璃基底剝落。因此想請(qǐng)教如下問(wèn)題：
1、如何減少或者阻止氣體產(chǎn)生？是否可以加入金屬絡(luò)合物，譬如硫氰化鐵與硫氰化亞鐵之類的物質(zhì)，或者其他合適的金屬絡(luò)合物體系？
2、如何增強(qiáng)金屬鍍膜與玻璃基底的粘接性？金屬鉻與基底的粘合性是不是比鈦好一些？一般厚度為多少時(shí)最為合適（我目前使用的是20nm金屬鈦）？
謝謝！

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1樓 2012-04-05 02:01:27

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2樓2012-04-05 07:40:32

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maomao2011

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想問(wèn)問(wèn)您這蒸鍍20nm Ti膜是如何執(zhí)行的，需要用什么儀器嗎？謝謝

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3樓2012-04-05 12:45:58

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我剛學(xué)電化學(xué)，請(qǐng)問(wèn)樓上，在電化學(xué)工作站上做電化學(xué)腐蝕時(shí)，用幾個(gè)電極，做硅的腐蝕，我的電解液里有HF，電極概如何選擇？謝謝樓主指教！

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4樓2012-04-06 10:45:25

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3樓: Originally posted by maomao2011 at 2012-04-05 12:45:58:
想問(wèn)問(wèn)您這蒸鍍20nm Ti膜是如何執(zhí)行的，需要用什么儀器嗎？謝謝

用真空蒸鍍的方法，這是常用的鍍金屬膜的方法
http://baike.baidu.com/view/1137898.htm
我用的是FC1800Electron Beam Evaporator
http://www.ebay.com/itm/TEMESCAL ... 097513#ht_500wt_969

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5樓2012-04-07 03:52:03

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4樓: Originally posted by liufanghx at 2012-04-06 10:45:25:
我剛學(xué)電化學(xué)，請(qǐng)問(wèn)樓上，在電化學(xué)工作站上做電化學(xué)腐蝕時(shí)，用幾個(gè)電極，做硅的腐蝕，我的電解液里有HF，電極概如何選擇？謝謝樓主指教！

這個(gè)我不知道，我也是剛?cè)腴T(mén)，對(duì)電化學(xué)了解不多，只是偶爾用下。

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6樓2012-04-07 03:53:34

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第一個(gè)問(wèn)題，我也遇到了，同問(wèn)解決方法。我的問(wèn)題主要是，同一批device,同樣的電壓，有的device可以工作，沒(méi)有bubble產(chǎn)生，但是有的就bubble產(chǎn)生很多。
第二個(gè)問(wèn)題，粘接性的話，我是在鍍Ti之前使用了dry etch,這樣就粘接很結(jié)實(shí)了。一般etch 2mins就好了。
Ti Au的厚度，我覺(jué)得你用的就可以了。

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7樓2012-08-29 03:43:20

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