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20071116153金蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
PMMA揭膜問(wèn)題
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各位大俠，我想在硅片上制備納米厚的PMMA，并把膜揭下來(lái)，有以下問(wèn)題 1.旋涂時(shí)的速度，時(shí)間 2.硅片在旋涂之前需要怎樣處理，才能把膜接下來(lái)啊 3.固化時(shí)間和溫度多少啊 還有就是我用OTS處理變成疏水的表面 旋涂PMMA怎么旋涂不上 是什么原因 我用的是百分之六的PMMA 急啊 大俠們 |
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