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蒼冥之鷹金蟲 (著名寫手)
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[求助]
請(qǐng)問(wèn)各位，如何使聚苯乙烯在晶片上成膜？
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| 本人想將聚苯乙烯涂在石英晶片上，我是先用THF溶解聚苯乙烯再滴在晶片上，再等THF揮發(fā)，可是成膜效果不是很好，有人知道是哪里有問(wèn)題嗎？有沒(méi)有更好的辦法使聚苯乙烯涂于晶片（形成的聚苯乙烯膜要很薄）？ |
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 高分子加工-工藝 | 涂膜 | 合成制備相關(guān) |
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在石英上滴膜首先要保證桌面的平臺(tái)是水平，拿2cm*2cm大小的石英基底為例，只要你濃度控制好濃度。 為了不浪費(fèi)料你可以拿個(gè)小載玻片試下看看，比如配個(gè)0.5%（根據(jù)需要的厚度來(lái)定）的溶液，取一定量的溶液滴到載玻片上直到鋪滿，注意：過(guò)程要小心謹(jǐn)慎，這時(shí)即使一塊平的玻璃片沒(méi)有東西攔著但由于表面張力作用，液體是不會(huì)流走（將流未流，在真正做石英前，在蓋玻片上試驗(yàn)?zāi)銟悠分澳憧梢灾苯幽盟诓Ａ系蜗履憔椭懒�，把水在蓋玻片上滴滿但是不會(huì)流走的）的，但是要非常小心否則就流走了，等揮發(fā)干就好了。 對(duì)于厚度、膜和平整度的控制，取一定量的一定濃度溶液時(shí)很關(guān)鍵的，濃度太大（一般5%不算大，如果你想做幾百納米濃度應(yīng)該控制在0.5%以下）致使粘度大不容易均勻鋪開，濃度太小要得到比較厚的厚度就必須滴很多溶液，這就容易使溶液溢出玻璃板而流走，所以要根據(jù)你要想做得厚度來(lái)控制濃度，如果厚度太大要通過(guò)我說(shuō)的這方法估計(jì)不太合適，不知道你要做多厚的。還有要注意的就是溶劑揮發(fā)過(guò)程不能太快，根據(jù)需要可以蓋個(gè)東西留個(gè)小縫。假如石英片面積是S（單位：cm^2），厚度是h（單位：微米），PS的密度是r（單位：g/cm^3），那鋪出膜的質(zhì)量就是r*S*h（g），假如濃度c（用為單位mg/mL，如果溶劑密度接近1的話，10mg/mL大約是1wt%），那鋪膜時(shí)取的體積V（單位：mL），V=rSh/c.,假設(shè)玻璃片面積是2*2cm^2，厚度是5微米，PS的密度是1g/cm^3,那就有10cV=Sh（cvSh單位分別是：mg/mL、mL、cm^2、微米），假如你濃度是1%即10mg/mL，厚度是5微米，v=0.2那就取0.2mL鋪上，0.2mL不算多，如果濃度太小，那必須取很多那是容易流走的。厚度大概就是這么控制的。 根據(jù)需要可以蓋個(gè)東西留個(gè)小縫，這步很關(guān)鍵。你可以把石英放在一塊大玻璃板上，滴好溶液后，再蓋個(gè)培養(yǎng)皿。 |
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10樓2012-04-24 21:17:13
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成膜效果不是很好是怎么個(gè)不好法？ 可以使用spin-coating的辦法。 有幾點(diǎn)需要注意： 1、濃度（5wt%以內(nèi)）和轉(zhuǎn)速合適（1500-3000rpm）；厚度主要取決于濃度，轉(zhuǎn)速影響較��； 2、選合適的溶劑，厚度還取決于溶劑沸點(diǎn)，而且沸點(diǎn)越低溶劑越易揮發(fā)甩的膜就越粗糙。 3、不管你直接滴或者用spin-coating辦法做膜，石英片最好處理處理干凈。 樓主為什么不用甲苯作溶劑呢？ |
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4樓2012-04-23 20:53:16
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我們沒(méi)有旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)，老板要我用離心機(jī)代替，可是我只借到一個(gè)最低轉(zhuǎn)速3000的離心機(jī)，自己做了個(gè)套子套在離心機(jī)中間的軸上。用四氫呋喃是因?yàn)槲铱吹降奈墨I(xiàn)有很多都是用這個(gè)，至于甲苯，今天也想到了，準(zhǔn)備試試。關(guān)于那個(gè)涂膜，請(qǐng)問(wèn)您可以給些什么建議嗎？今天又試了很多次，都不是很理想。還有一個(gè)問(wèn)題，我是用移液槍將試劑滴到晶片上，可是槍頭不也是塑料的嗎，不會(huì)溶于有機(jī)溶劑嗎，如果不用移液槍那該用什么設(shè)備才能滴出微升級(jí)的量呢？  問(wèn)題有點(diǎn)多，請(qǐng)見諒，我才剛進(jìn)實(shí)驗(yàn)室，又是老板帶的第一屆，什么都得自己做，請(qǐng)不要嫌我麻煩。 |
6樓2012-04-24 19:48:45
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wgs8136: 金幣+3, 感謝應(yīng)助 2012-04-25 18:35:34
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1、用離心機(jī)代替？怎么代替，旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)上面是平的，離心機(jī)怎么實(shí)現(xiàn)的得了呢？做了個(gè)套子套在離心機(jī)中間的軸上這個(gè)難度比較大，很難保持平面，而且甩時(shí)要用真空泵吸住的。 2、溶劑問(wèn)題，聚苯乙烯和甲苯二者溶度參數(shù)很接近，甲苯是PS的比較理想的溶劑了，而且比較適合spin-coating。四氫呋喃也可以的吧，而且沸點(diǎn)比較低容易揮發(fā)，比較適合滴膜。至于移液槍你不必?fù)?dān)心，槍頭一般是PE或PP做的，常溫先常規(guī)溶劑很難把它溶解掉的。 3、建議：做膜的話，涂膜機(jī)時(shí)很理想的，從長(zhǎng)遠(yuǎn)考慮的話，如果以后用的很多的話，可以考慮買一臺(tái)哦，不貴的（你是在北京嗎？中科院微電子所有賣）。 為了給你更好的提攜建議，問(wèn)你幾個(gè)問(wèn)題：為什么要微升級(jí)的量呢？你要做多厚（nm級(jí)厚度還是微米級(jí)）、多大面積的膜呢？你今天試的幾次，石英片你是怎么處理的？ 你所說(shuō)的成膜效果不是很好是怎么不好法（這個(gè)必須回答我，你前面我問(wèn)了你還沒(méi)回答）？ 我的建議，其實(shí)把基體處理好，溶度配稀點(diǎn)，直接滴上面去也應(yīng)該是是可行的。 4、不懂的可以和老板、實(shí)驗(yàn)室的多多交流討論，多看相關(guān)文獻(xiàn)，也可以來(lái)小木蟲交流、請(qǐng)教。 |
8樓2012-04-24 20:07:57
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樓主是mm？ 9樓2012-04-24 20:45:25
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