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zhangduoqing鐵蟲 (初入文壇)
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CVD
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2樓2012-04-25 21:54:42
木蟲至尊
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小元家族七弟！哇哈哈！
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【答案】應(yīng)助回帖
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wenjing120: 金幣+1, 積極應(yīng)助！歡迎常來科研版！感謝您的交流！ 2012-04-26 10:58:18
wenjing120: 金幣+1, 積極應(yīng)助！歡迎常來科研版！感謝您的交流！ 2012-04-26 10:58:18
CVD(Chemical Vapor Deposition, 化學(xué)氣相沉積)，指把含有構(gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)劑的蒸氣及反應(yīng)所需其它氣體引入反應(yīng)室，在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成薄膜的過程。在超大規(guī)模集成電路中很多薄膜都是采用CVD方法制備。經(jīng)過CVD處理后，表面處理膜密著性約提高30%，防止高強(qiáng)力鋼的彎曲，拉伸等成形時(shí)產(chǎn)生的刮痕。 |
3樓2012-04-26 08:31:36
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