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圣潔十字軍

銀蟲 (初入文壇)

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專業(yè): 無(wú)機(jī)非金屬類光電信息與功

[求助] 求助旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)圓柱靶材技術(shù)的原理

” 旋轉(zhuǎn)式濺射裝置是在面對(duì)玻璃底板表面的位置呈陣列狀排列多個(gè)圓筒狀濺射靶而制成的。其優(yōu)點(diǎn)是通過(guò)一邊旋轉(zhuǎn)圓筒狀濺射靶一邊濺射，材料能均勻地從濺射靶表面射出。據(jù)AMAT介紹，旋轉(zhuǎn)式濺射裝置能比采用平板型濺射靶的濺射裝置更高效地使用靶材。平板型濺射靶才使用30～40％就不能均勻成膜了，而旋轉(zhuǎn)式用到89％仍能使用。
圓筒狀濺射靶的中心部分是空的，此處配備有磁石。濺射時(shí)，在旋轉(zhuǎn)濺射靶的同時(shí)，朝著旋轉(zhuǎn)方向獨(dú)立轉(zhuǎn)動(dòng)磁石，從而改變材料從靶材射出的方向。通過(guò)控制圓筒狀濺射靶的配置方法及磁石的驅(qū)動(dòng)，可以獲得均勻的膜。“資料來(lái)自AKT-PiVot 55kV PVD設(shè)備介紹。
以上有兩點(diǎn)我不是很明白：多個(gè)圓筒靶材如何排列；圓筒中的磁石如何改變材料的射出方向。

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1樓 2012-05-03 16:57:25

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