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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 磁性材料 » 釹鐵硼表面鍍TiN
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笑園子金蟲 (初入文壇)
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[求助]
釹鐵硼表面鍍TiN
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我是用磁控濺射在釹鐵硼上鍍氮化鈦，真空度是5.6E-3,加熱到300攝氏度，轟擊功率是50W，時間30min，鍍膜是先鍍10minTi，在鍍2小時氮化鈦。但是照SEM后表面出現(xiàn)很多豆裝突起和很多微裂紋。一般說磁控濺射鍍膜，都是很光滑，在掃描下是一片黑色，難道是我上述的參數(shù)有問題，求大神指導(dǎo)，下面我會上傳一些SEM圖，求指教�。。�！ 鍍過膜的，求助！ 這是沒鍍膜的，不過我拋過光，表面好多坑�。�！求助。 |
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sunny_911
新蟲 (初入文壇)
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2樓2013-02-26 16:13:01
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