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splendid8178金蟲 (正式寫手)
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[求助]
DBD等離子體反應裝置沉積薄膜的設計
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在現(xiàn)有的DBD裝置（附圖）基礎上，怎樣設計一個密閉的裝置，進行大氣壓下氣體放電沉積薄膜，最好能實現(xiàn)輝光放電，使得氣體間隙在1-10mm內可調，又能防止電極的側面放電而降低損耗。 我考慮的問題： 1、如果直接在DBD外部加個密閉的玻璃箱，雖然滿足了電極間隙任意可調，但是電極柱狀部分，會不會也放電損耗，影響電極壽命；而且氣體流量也大，如使用稀有氣體，則成本太高。 2、如果能夠設計一個以石英玻璃介質為結構的密閉裝置，最好了，但是實在不知如何設置。 現(xiàn)在急于試驗，沒裝置，啥都干不成，麻煩各位給點意見和建議，謝謝！ 大氣壓低溫等離子體放電裝置 |
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splendid8178
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2樓2012-05-08 10:36:08
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