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zgfbb
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[交流]
PECVD掉渣問(wèn)題 已有4人參與
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| 本人現(xiàn)利用一臺(tái)21 inch PECVD鍍SiO2，每次鍍完膜厚總是有小顆粒附著在膜的表面，不知道有哪些原因造成此種現(xiàn)象的發(fā)生。 |
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optimist9105
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2樓2012-05-09 00:16:38
khjxy 
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3樓2012-05-09 13:06:22
陳勇躍
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4樓2012-05-09 20:43:25
5樓2012-05-24 15:44:56
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