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huibenben金蟲 (小有名氣)
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[求助]
正面長有氮化硅（Si3N4）的硅片怎樣去除硅片背面的薄淡化硅層（~幾nm）
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| 我想用長有氮化硅的硅片作OTFT襯底，怎樣去除硅片背面的薄氮化硅（約幾nm）層，以露出硅用作OTFT的柵電極（實(shí)驗(yàn)室用）。各位帥鍋，美女，求助！有知道的回個帖，謝謝！ |
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huibenben
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4樓2012-05-16 21:24:12
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5樓2012-06-13 14:50:19
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