songlinwei

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[交流] 薄膜應(yīng)力測(cè)試

VO2光學(xué)薄膜，想測(cè)試一下薄膜與基底間的應(yīng)力，不知道用什么測(cè)試好，怎樣測(cè)試，求各位蟲(chóng)友指導(dǎo)！

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1樓 2012-05-20 09:49:05

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kristina蝶

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2樓2012-05-20 14:16:36

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dongjinkuang

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蔣青松: 金幣+1, 鼓勵(lì)交流 2012-05-21 07:42:58

據(jù)我所知，可以用X射線衍射儀法，薄膜在受到應(yīng)力的作用下，晶格會(huì)發(fā)生畸變，從而使晶格常數(shù)發(fā)生變化，測(cè)量出晶格的畸變量來(lái)測(cè)出材料所受應(yīng)力的大小。

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3樓2012-05-21 00:50:59

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ymshen1980

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zhaohaixing: 金幣+1, 鼓勵(lì)交流 2012-08-18 12:28:57

先更正一下樓主的概念，應(yīng)力是薄膜內(nèi)部的，是薄膜由于受基地約束產(chǎn)生的應(yīng)力。可以通過(guò)形變的方法表征薄膜應(yīng)力，即用干涉儀或應(yīng)力儀測(cè)基片鍍膜前后的形貌，通過(guò)通過(guò)形變用Stoney公式計(jì)算應(yīng)力

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4樓2012-05-21 08:53:16

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songlinwei

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4樓: Originally posted by ymshen1980 at 2012-05-21 08:53:16:
先更正一下樓主的概念，應(yīng)力是薄膜內(nèi)部的，是薄膜由于受基地約束產(chǎn)生的應(yīng)力�？梢酝ㄟ^(guò)形變的方法表征薄膜應(yīng)力，即用干涉儀或應(yīng)力儀測(cè)基片鍍膜前后的形貌，通過(guò)通過(guò)形變用Stoney公式計(jì)算應(yīng)力

我想你誤解我的意思了，薄膜的應(yīng)力包括，薄膜與基底間由于晶格不匹配等因素產(chǎn)生的應(yīng)力，還有薄膜生長(zhǎng)過(guò)程中由于某些缺陷或者熱處理產(chǎn)生的內(nèi)應(yīng)力，我想問(wèn)的是薄膜與基底間的應(yīng)力！

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6樓2012-05-21 09:15:46

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ymshen1980

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zhaohaixing: 金幣+1, 鼓勵(lì)新蟲(chóng)多作交流~ 2012-05-28 10:35:52

薄膜與基底間由于晶格不匹配等因素產(chǎn)生的應(yīng)力應(yīng)該歸結(jié)為內(nèi)應(yīng)力。應(yīng)力包括內(nèi)應(yīng)力和熱應(yīng)力。有關(guān)薄膜應(yīng)力喲很多文獻(xiàn)，你可以查一下。

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7樓2012-05-21 11:17:49

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xiaoqing8569

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zhaohaixing: 金幣+1, 鼓勵(lì)交流~~ 2012-05-28 10:36:02

引用回帖:

6樓: Originally posted by songlinwei at 2012-05-21 09:15:46
我想你誤解我的意思了，薄膜的應(yīng)力包括，薄膜與基底間由于晶格不匹配等因素產(chǎn)生的應(yīng)力，還有薄膜生長(zhǎng)過(guò)程中由于某些缺陷或者熱處理產(chǎn)生的內(nèi)應(yīng)力，我想問(wèn)的是薄膜與基底間的應(yīng)力！...

本征應(yīng)力=總應(yīng)力（stoney公式計(jì)算）-熱應(yīng)力
熱應(yīng)力也是可以計(jì)算的

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8樓2012-05-27 22:54:48

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zhougbnju

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LZ問(wèn)的薄膜與基底間的應(yīng)力？薄膜與基底間應(yīng)該只有附著力一說(shuō)吧？只有薄膜內(nèi)才會(huì)有應(yīng)力吧。

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9樓2012-08-17 17:42:17

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daisy143

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學(xué)習(xí)了

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10樓2012-08-17 22:35:08

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紫百合LYL

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受教了。。。

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11樓2013-04-24 20:04:59

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xiehaimei515

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4樓: Originally posted by ymshen1980 at 2012-05-21 08:53:16
先更正一下樓主的概念，應(yīng)力是薄膜內(nèi)部的，是薄膜由于受基地約束產(chǎn)生的應(yīng)力�？梢酝ㄟ^(guò)形變的方法表征薄膜應(yīng)力，即用干涉儀或應(yīng)力儀測(cè)基片鍍膜前后的形貌，通過(guò)通過(guò)形變用Stoney公式計(jì)算應(yīng)力

我想問(wèn)一下，基于stoney公式計(jì)算薄膜的應(yīng)力時(shí)，我現(xiàn)在的基底是圓盤(pán)狀的，薄膜也是圓盤(pán)狀的，在沉積過(guò)程中基底四周需要固定嗎？還是說(shuō)需要?jiǎng)e的怎么處理
謝謝

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13樓2013-10-17 11:33:17

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簡(jiǎn)單回復(fù)

qiqiqiqi5樓

2012-05-21 08:58 回復(fù)

songlinwei(金幣+1): 謝謝參與

wuyixiang12312樓

2013-04-24 20:25 回復(fù)

祝福

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