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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料其他 » 勻膠機的真空泵貌似不工作了？
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步步高升步步金蟲 (正式寫手)
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[交流]
勻膠機的真空泵貌似不工作了？ 已有4人參與
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| 實驗室的勻膠機的吸片功能失效了，真空泵開著聽聲音挺好的，不知道為什么？是不是泵被堵住了？ |
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2樓2012-05-22 11:07:01
步步高升步步
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3樓2012-05-22 14:48:52
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4樓2012-05-23 11:16:34
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
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樓主遇到這種情況莫慌，第一步確定真空泵是否正常，在真空泵開啟的情況下拔掉連接光刻膠涂布機的塑料管，感覺是否有吸力。第二步檢查光刻膠涂布機上面的真空管路開關(guān)是否打開。第三步拿掉光刻膠涂布機的Chuck，看表面是否光滑，背面是否有堵塞。最想不到的就是光刻膠滲漏到涂布機里面的真空管路造成氣源堵塞。 —————— 西安矽美微電子設備有限公司由幾位微電子芯片設備業(yè)界從業(yè)經(jīng)驗豐富的人士發(fā)起創(chuàng)立，公司專注于微電子芯片設備的設計、制造和銷售。自2011年成立以來，已先后為真明麗銀雨、樓氏蘇州、亞威朗光電、西安中為光電、蘇州納米所等知名企業(yè)設計制造生產(chǎn)設備。主要產(chǎn)品有清洗機、光刻膠涂布顯影機和熱臺、HMDS預處理系統(tǒng)、金剛刀劃片機、晶圓貼膜機、晶圓切割機等。 Website：http:www.semiway.com.cn |
5樓2015-12-03 16:01:04
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
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6樓2021-08-06 16:13:47
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