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[求助]
旋涂
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小蟲在旋涂二氧化硅時，旋轉(zhuǎn)時看到有同心圓，旋轉(zhuǎn)結(jié)束后硅片表面看到是放射狀的，且有微細(xì)小的塊裝物。到底什么原因��？急 希望有經(jīng)驗(yàn)的大蟲給指點(diǎn)下！[ Last edited by xinmor on 2012-5-25 at 08:27 ] |
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5樓2012-05-25 11:17:17
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