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北京石油化工學(xué)院2026年研究生招生接收調(diào)劑公告

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MANOWAR

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[求助] 某圖形化襯底PSS標(biāo)注1×2×1.5，請(qǐng)問(wèn)三個(gè)數(shù)字分別對(duì)應(yīng)什么？

襯底時(shí)科瑞斯達(dá)的。

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1樓 2012-05-24 22:10:17

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MANOWAR

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4樓: Originally posted by ljjbpp at 2012-05-27 21:00:25
不是，是干法做的，應(yīng)該是接近半球的！

大哥您說(shuō)的是這種樣子嗎？
它的制作工程是怎樣的呢？是不是這樣的：
1、光刻膠
2、做圖形（比如此時(shí)所做圖形是保護(hù)下面的襯底的）
3、把圖形以外的光刻膠去掉
4、干法刻蝕
5、除了保護(hù)位置，其他的地方都被刻蝕了一定深度
6、把剩余部分光刻膠去掉，得到pss

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5樓2012-05-28 21:57:14

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ljjbpp

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【答案】應(yīng)助回帖

★
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蔣青松: 金幣+1, 鼓勵(lì)交流 2012-05-26 10:36:49

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2樓2012-05-25 18:39:23

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引用回帖:

2樓: Originally posted by ljjbpp at 2012-05-25 18:39:23
1 間隙
2 直徑
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謝謝大俠~您的意思是說(shuō)這個(gè)襯底的圖形是圓臺(tái)狀的？或者是柱狀的？謝謝你了~

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3樓2012-05-25 21:43:29

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【答案】應(yīng)助回帖

★
zhaohaixing: 金幣+1, 鼓勵(lì)交流~~ 2012-05-28 10:37:44

不是，是干法做的，應(yīng)該是接近半球的！

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4樓2012-05-27 21:00:25

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