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xj170701059新蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
薄膜的退火時(shí)間長(zhǎng)短對(duì)薄膜影響大嗎？
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| 我分別做了5個(gè)薄膜PLD法，然后分別退火，溫度相同550度，但是時(shí)間不同，有的20分鐘，有的25分鐘，有的40分鐘，請(qǐng)問(wèn)影響大嗎？我本想讓這5個(gè)樣品退火時(shí)間一致的。請(qǐng)問(wèn)現(xiàn)在還可以繼續(xù)退火嗎，好使它們的時(shí)間一致？ |
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2樓2012-06-05 17:18:45
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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總的說(shuō)來(lái)，退火能夠使薄膜內(nèi)的晶粒長(zhǎng)大，應(yīng)力釋放。 但是20分鐘與25分鐘估計(jì)差別不會(huì)很明顯。樓主可以做個(gè)XRD看看衍射峰形態(tài)，也可以用FESEM觀察一下表面形貌。 如果是快速退火的話，20分與40分可能會(huì)有點(diǎn)區(qū)別。 如果lz退火后采用的是隨爐冷卻的話，有些爐子降溫很慢，相當(dāng)于延長(zhǎng)了退火時(shí)間，如果是這樣估計(jì)20,25,40分不會(huì)有明顯區(qū)別。 |
8樓2012-06-08 10:00:28
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9樓2012-06-08 12:35:42
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