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jinbiandou鐵桿木蟲 (正式寫手)
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[求助]
用機(jī)械泵抽真空并保持一定壓力，浮子流量計(jì)老是跳動(dòng)，如何解決？
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| 大家好，初次搭建CVD設(shè)備，普通管式爐，機(jī)械泵，浮子流量計(jì)，我在實(shí)驗(yàn)過程中發(fā)現(xiàn)，維持一定的低壓，浮子流量計(jì)老是跳動(dòng)，是不是機(jī)械泵抽率變化引起石英管內(nèi)氣壓變化導(dǎo)致的？應(yīng)該加什么設(shè)備解決該問題呀？我目前結(jié)構(gòu)是這樣的:鋼瓶-減壓閥-浮子流量計(jì)-壓力表-石英管-機(jī)械泵。謝謝各位！ |
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hzqllsun
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2樓2012-06-12 22:02:06
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3樓2012-06-12 22:06:15
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6樓2012-06-13 12:44:33
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送鮮花一朵 |
您好，看來您對(duì)CVD系統(tǒng)很熟悉，能開一下我這個(gè)貼子嗎？http://www.gaoyang168.com/bbs/viewthread.php?tid=4205696 希望能夠得到您的指點(diǎn)，非常感謝您！  |
7樓2012-07-15 16:24:40
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8樓2015-08-17 23:34:40
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