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電子探針顯微分析方法.PPT
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EPMA定義 EPMA（Electron Probe MicroAnalysis），是電子探針顯微分析技術(shù)，利用聚焦電子束與試樣微米至亞微米尺度的區(qū)域相互作用，用X射線譜儀對(duì)電子激發(fā)體積內(nèi)的元素進(jìn)行分析的技術(shù)。 電子探針儀：EPMA(Electron Probe MicroAnalyzer) (electron probe) 一種電子束顯微分析的儀器，是通過電子束激發(fā)試樣微區(qū)產(chǎn)生的二次電子、背散射電子、及X射線等信息，進(jìn)行試樣表面形貌觀察及成分分析。成分分析主要用波譜儀（WDS)，也可以用能譜儀（EDS)。其配置應(yīng)包括一個(gè)能將電子束聚焦成微米、亞微米尺度的電子光學(xué)系統(tǒng)（鏡筒）。一臺(tái)對(duì)試樣位置進(jìn)行觀測(cè)和精密定位的光學(xué)顯微鏡和一套波譜儀， 也可以附加一套能譜儀。其電子光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)包括電子束掃描系統(tǒng)以及一個(gè)或多個(gè)電子探測(cè)器，以便具有掃描電鏡的成像功能。 EPMA、SEM區(qū)別 EPMA：用于成分分析、形貌觀察，以成分分析為主。主要用WDS進(jìn)行元素成分分析、檢出角大、附有光學(xué)顯微鏡（OM），可以準(zhǔn)確定位工作距離(物鏡極靴下表面與試樣表面之間的距離)、束流大、穩(wěn)定（10-3/h)，所以定量結(jié)果準(zhǔn)確度高,檢測(cè)極限低。 缺點(diǎn)：真空腔體大，成分分析束流大，所以電子光路、光闌等易污染，圖像質(zhì)量不如SEM，EPMA二次電子像分辨率為3nm(場(chǎng)發(fā)射）、5nm(LaB6)、6nm（W燈絲）。 SEM：用于形貌觀察、成分分析（一般用EDS分析），以形貌觀察為主,束流穩(wěn)定度為10-2/h左右，大量數(shù)據(jù)測(cè)量時(shí)穩(wěn)定時(shí)間不能滿足要求。圖像分辨率高，F(xiàn)ESEM:0.4~1nm；W燈絲SEM：3nm EPMA比SEM價(jià)格貴幾倍。 EPMA/SEM-EDS的特點(diǎn) EPMA、SEM-EDS是應(yīng)用最廣泛的儀器，EDS幾乎成了EPMA、SEM的標(biāo)配�，F(xiàn)在許多SEM還配備了WDS。 EPMA、SEM-EDS的儀器構(gòu)造、成像原理、分析原理、 WDS及EDS定量修正過程都相同，雖然功能、特點(diǎn)不完全相同。 EPMA成分分析時(shí)電流大；檢出角大；有能精確定位分析點(diǎn)的OM；WDS的波長(zhǎng)分辨率及檢測(cè)極限均優(yōu)于EDS�，F(xiàn)在成分定量分析要求較高的材料科學(xué)、冶金、地質(zhì)等領(lǐng)域一般都配備了EPMA。意大利警方配備WDS前，分析結(jié)果經(jīng)常被黑手黨的WDS分析結(jié)果推翻，現(xiàn)在意大利警方都同時(shí)配備了EDS和WDS。 即使現(xiàn)在SEM配備了WDS ，成分定量分析結(jié)果一般也不如EPMA, SEM-EDS 下面是幾個(gè)介紹EPMA分析方法的入門教程，與大家共享。 [ Last edited by linjie137 on 2012-7-3 at 15:24 ] |
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