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剛出瘋?cè)嗽?/a>新蟲 (初入文壇)
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[求助]
氮化鈦
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本人用氮氣、氫氣和四氯化鈦在高溫下CVD沉積氮化鈦涂層 進行了SEM、XRD表征 通過掃描電鏡 觀察到TiN晶體生長成五角星形狀 本人晶體學方面知識較為匱乏,想請教: 1、五角星形狀 的生長是由于有3個晶面么? 2、晶體的大小與什么有關(guān)? 不知表述正確否... 望大家見諒 |
新蟲 (初入文壇)
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五角形貌我沒接觸過,而且對你研究的TiN性質(zhì)也沒什么了解,也沒有什么具體的思路……稍微說說我的想法吧…… 你已經(jīng)做過XRD了,結(jié)果顯示是純相么?有沒有其他雜質(zhì)? 有條件的話,做個SEAD吧,(這個襯底上薄膜的TEM的制樣有點煩,麻煩的話就算了),看看有沒有五次對稱性,如果有的話,那就是準晶了,不過我覺得不太可能,準晶一般都是金屬化合物的,氮化物材料好像沒聽說過…… 如果排除了微觀對稱性造成的晶粒形貌的影響,那么只能從襯底和反應(yīng)條件入手了,你看看別人同樣方法做的形貌有什么不同,也沒法提什么建設(shè)性的意見……只能建議你從這方面想了…… 祝你好運 |
木蟲 (正式寫手)
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