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新蟲 (初入文壇)

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[求助] 氧化鋅摻硼pld制備后測量xrd沒有薄膜的峰

大家有沒有做過氧化鋅摻雜硼元素的pld薄膜制備？襯底是藍寶石，做了六個樣品結(jié)果都沒有薄膜的xrd衍射峰。
靶材條件：氧化鋅摻雜三氧化二鵬10%研磨后在900度空氣中燒結(jié)30min（參考文獻），壓片后900度燒了10min（自己主張）
制備條件：200mJ 5Hz 20min 距離4cm 真空度2×10^-4pa，一個不通氧，一個氧氣1.5pa
xrd測試：氧化鋅搖擺曲線34.37 ，氧化鋁襯底41.68，全譜20-80
結(jié)果：沒有搖擺曲線，全譜只有氧化鋁襯底的峰，放大后能看到氧化鋅很微弱的特征峰。
大家?guī)臀曳治鲆幌聠栴}出在哪兒了呀？

回復(fù)此樓

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1樓 2012-07-10 20:34:30

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【答案】應(yīng)助回帖

是不是膜太薄了
或者結(jié)晶度不太好

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