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zhouzhehui新蟲 (小有名氣)
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[求助]
太陽能電池制造工藝中的etch back
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The samples were exposed to a 30 Ω/□ diffusion and an etch-back to approx. 100 Ω/□. For a selective FSF, the front surface hast to be masked by inkjet- or screen-printing in the area that will be contacted. The FSF is then etched back in an acidic solution to the desired sheet resistance. each back 是項(xiàng)神馬技術(shù) |
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
蔣青松: 金幣+1, 鼓勵(lì)交流 2012-07-20 07:44:51
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我以前是做TFT-LCD的，solar cells我沒有做過。 但是我知道制程是一樣的，但是solar cells的無塵室的等級(jí)沒有LCD高。 在array段，主要分為TF，PH，以及ETCH，蝕刻分為干蝕刻以及濕蝕刻。 干蝕刻主要是用plasma轟擊非金屬薄膜，得到想要的形狀。 濕蝕刻主要是用強(qiáng)酸腐蝕金屬薄膜。 注意蝕刻完畢以后都要進(jìn)行清洗。 另外TH是THIN FILM的意思 PH是PHOTO的意思，在一般的半導(dǎo)體書上面你都可以查到。 |
2樓2012-07-19 10:06:34
SCU_magiclee
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3樓2012-07-19 12:09:36
zhouzhehui
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4樓2012-07-19 14:44:30
zhouzhehui
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5樓2012-07-19 14:46:11
SCU_magiclee
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【答案】應(yīng)助回帖
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你應(yīng)該把文獻(xiàn)貼出來啊。。我查了一下應(yīng)該是這篇文獻(xiàn)Large Area n-Type Silicon Solar Cells with Selective Front Surface Field and Screen Printed Aluminum-Alloyed Rear Emitter 大概看了一下，Each-back應(yīng)該翻譯為回刻蝕，做完掩膜之后再刻蝕一次（選擇性刻蝕），形成選擇性前表面場（selective FSF）。因?yàn)楸葌鹘y(tǒng)工藝多一次刻蝕，所以應(yīng)該翻譯為回刻蝕。 |
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zhouzhehui6樓2012-07-19 22:28:20
zhouzhehui
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7樓2012-07-20 16:06:49
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